综上，虽然大家遇到上述两个问题的几率并不大，大为了以防万一，确保气动蝶阀能正常运行，还是要处理影响设备操作系统的不利因素。

原则上，一个进程内室压力可以控制调节气体的投入。虽然这种方法适用于多种应用，要求越来越高的半导体工艺要求控制气体流量和相互独立进程的压力。